첼씨
유리 기판없이 반도체의 누설전류를 잡을수있는데,
누설전류가 왜 생기는지 알아야돼.
반도체의 경우, 소자간의 사이가 짧아지면서, 낮은 전압으로 전류가 통하는 현상이 생기게 되는데
그래서 전압을 높이지 않아서 전류가 흐르는거야
이것에 대한 근본적 해결방법은 없을까?
당연히 존재하지.
소자인데, 드레인과 소스 부분을 만들기 위해서, 습식 식각으로, 소스와 드레인 부분을 파내는거야.
그 다음 절연체를 넣어서, 굳히고, 그 다음 플라지마 식각하는거지.
그러면 채널이 c에서 만들어지는데, 특정 전압을 줄때만 c에서 흐르는거야.
만약에 소자가 너무 작아져서, 작은 전압으로도 전류가 흐른다면 이곳을 깊게 만들면 되는거지.
유리기판으로 할 필요 없이, 현재 있는 실리콘 기판으로도 누설전류를 완벽하게 잡을수있어.
유리기판으로 하려면 미세한 구멍을 뚫어야돼.
♥ 드라마시티 .. 은어가 살던곳(2007).av...
